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有時也被簡稱為硅烷。它的結構與甲烷類似，只是用硅取代了甲烷中的碳。在室溫下，硅烷是一種易燃的氣體，在空氣中，無需外加火源，硅烷就可以自燃。但是有學者認為，硅烷本身是很穩定的，在自然狀態下，是以聚合物的狀態存在的。在超過420攝氏度的環境下，硅烷會分解成硅和氫因此硅烷可以被用來提純硅。

應用領域

    硅烷氣是太陽能電池生產過程中不可或缺的材料，因為它是將硅分子附著于電池表面的最有效方式。在高于400℃的環境下，硅烷氣分解成氣態硅和氫氣。氫氣燃燒后，剩下的就是純硅了。

    硅烷氣可以說是無處不在。除了光伏產業外，還有很多制造工廠需要用到硅烷氣，如平板顯示器、半導體、甚至鍍膜玻璃生產廠。