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六氟乙烷 C2F6
六氟乙烷（hexafluoroethane），又稱全氟乙烷，是乙烷中六個氫原子全部被氟原子取代后的產物，是鹵代烴（化學式：C2F6），亦是烴類化合物乙烷所對應的全氟化合物，是一種不易燃的氣體，難溶于水，微溶于醇。
應用領域
六氟乙烷可用于一種具多功能的蝕刻技術，常見于半導體之生產。它可用于金屬硅化物及金屬氧化物并相對其金屬基質的選擇性蝕刻。叧外，它亦用于蝕刻硅上的二氧化硅。
六氟乙烷可連同三氟甲烷一起用于制冷劑R508A（六氟乙烷占61%）及R508B（六氟乙烷占54%）
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